2008年度 先端技術科学教育部 知的力学システム工学専攻 機械創造システム工学コース 博士前期課程

精密機械工学

Precision Machinery

教授・英 崇夫

2単位

目的

マイクロマシンや電子部品の製作に欠かせない薄膜に関して,その創成技術および特性評価技術について学習する.

概要

薄膜の基本概念,薄膜の作製方法,薄膜の結晶性と応力を学ぶ.薄膜創成では特に残留応力の発生が問題になり,その評価と制御を適正に行う必要がある.残留応力の測定法としてのX線応力測定法およびその薄膜応力への応用を理解する.また,薄膜の応力の性質について最近の研究を紹介する.工業にかかわる科目である.

キーワード

X線回折,X線応力測定,結晶構造,残留応力

先行科目

材料工学

関連科目

材料物性特論

要件

To master a basic concept of crysital

注意

To learn by yourself thin film preparation, crystallography, X-ray diffraction, X-ray stress measurement, micromachine and so on

目標

1.薄膜創成法を理解する
2.X線応力測定法を理解する
3.薄膜の応力を理解する

計画

1.薄膜の基本概念
2.薄膜の作製方法
3.薄膜の結晶性と応力
4.機械的方法による薄膜の応力測定
5.X線回折(1)X線の性質
6.X線回折(2)結晶の幾何学
7.X線回折(3)原子および結晶による回折
8.X線回折(4)粉末結晶からの回折
9.レポートと発表
10.X線応力測定法
11.X線的方法による薄膜の応力測定
12.残留応力の発生
13.残留応力の回復
14.熱応力とストレスマイグレーション
15.薄膜の応用
16.定期試験

評価

Report & presentation 40%, examination 60%

対象学生

開講コース学生のみ履修可能

教科書

None

連絡先

英(M317, 656-7377, hanabusa@me.tokushima-u.ac.jp)