2008年度 先端技術科学教育部 環境創生工学専攻 エコシステム工学コース 博士前期課程

マイクロメカニクス工学

Micromechanics

准教授・松尾 繁樹

2単位

形態

講義

目的

マイクロ·ナノメートル空間領域の科学を理解するとともに,その領域を取り扱う要素技術に関する知識を得ること.

概要

マイクロメートルおよびナノメートル空間領域における精密科学計測手法について述べるとともに,マイクロマシンの要素技術であるマイクロセンサ,マイクロマシニング,マイクロアクチュエータの各技術についても解説する.加えて,科学および技術に関する最新の話題にも随時言及し,議論する.本科目は,工業に関する科目である.

キーワード

マイクロ,ナノ

目標

1.マイクロ·ナノメートル空間を取り扱う基本的な知識を身につけること.

計画

1.マイクロスケールの物理と化学
2. 〃
3. 〃
4. 〃
5.マイクロスケールの計測技術
6. 〃
7. 〃
8.マイクロマシニング技術
9. 〃
10. 〃
11.マイクロセンサ
12. 〃
13. 〃
14.マイクロアクチュエータ
15. 〃

評価

授業時間中に課すレポートで評価する.