マイクロメカニクス工学
Micromechanics
准教授・松尾 繁樹
2単位
形態
講義
目的
マイクロ·ナノメートル空間領域の科学を理解するとともに，その領域を取り扱う要素技術に関する知識を得ること．
概要
マイクロメートルおよびナノメートル空間領域における精密科学計測手法について述べるとともに，マイクロマシンの要素技術であるマイクロセンサ，マイクロマシニング，マイクロアクチュエータの各技術についても解説する．加えて，科学および技術に関する最新の話題にも随時言及し，議論する．本科目は，工業に関する科目である．
キーワード
マイクロ，ナノ
目標
| 1. | マイクロ·ナノメートル空間を取り扱う基本的な知識を身につけること． |
計画
| 1. | マイクロスケールの物理と化学 |
| 2. | 〃 |
| 3. | 〃 |
| 4. | 〃 |
| 5. | マイクロスケールの計測技術 |
| 6. | 〃 |
| 7. | 〃 |
| 8. | マイクロマシニング技術 |
| 9. | 〃 |
| 10. | 〃 |
| 11. | マイクロセンサ |
| 12. | 〃 |
| 13. | 〃 |
| 14. | マイクロアクチュエータ |
| 15. | 〃 |
評価
授業時間中に課すレポートで評価する．