2008年度 先端技術科学教育部 システム創生工学専攻 電気電子創生工学コース 博士後期課程

プラズマ物性工学特論

Plasma Science and Technology

教授・大宅 薫

2単位

形態

講義形式とポートフォーリオ形式の併用

目的

気体および固体内の電子,原子,分子の衝突過程を理解し,そのさまざまな応用についての知識を得る.

概要

1)気体および固体内の電子,原子,分子の衝突過程について述べ,それらのプラズマ物理学,プラズマ化学,表面科学,材料科学などとの関連について講義する.2)プラズマ材料デバイスプロセスへの応用,核融合プラズマ·壁相互作用について紹介する.

キーワード

プラズマ,衝突理論,プラズマ·表面相互作用,プラズマ応用

目標

1.気体および固体内の電子,原子,分子の衝突過程を理解する.
2.プラズマ材料デバイスプロセス,核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用について理解する.

計画

1.衝突理論の初歩
2.相互作用ポテンシャル
3.弾性衝突と核的阻止能
4.非弾性衝突と電子的阻止能
5.気体中の非弾性衝突過程
6.気体中の電子とイオンの輸送
7.固体表面でのイオン反射と再放出
8.固体内の衝突ミキシングと拡散
9.物理スパッタリングと化学スパッタリング
10.プラズマCVD
11.プラズマ·エッチング
12.その他の材料デバイスプロセスへの応用
13.核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用
14.周辺プラズマ物理
15.水素リサイクリングと材料損耗
16.まとめと今後の課題

連絡先

大宅(E棟2階南 A-9, 088-656-7444, ohya@ee.tokushima-u.ac(no-spam).jp)