プラズマ物性工学特論
Plasma Science and Technology
教授・大宅 薫
2単位
形態
講義形式とポートフォーリオ形式の併用
目的
気体および固体内の電子，原子，分子の衝突過程を理解し，そのさまざまな応用についての知識を得る．
概要
1)気体および固体内の電子，原子，分子の衝突過程について述べ，それらのプラズマ物理学，プラズマ化学，表面科学，材料科学などとの関連について講義する．2)プラズマ材料デバイスプロセスへの応用，核融合プラズマ·壁相互作用について紹介する．
キーワード
プラズマ，衝突理論，プラズマ·表面相互作用，プラズマ応用
目標
| 1. | 気体および固体内の電子，原子，分子の衝突過程を理解する． |
| 2. | プラズマ材料デバイスプロセス，核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用について理解する． |
計画
| 1. | 衝突理論の初歩 |
| 2. | 相互作用ポテンシャル |
| 3. | 弾性衝突と核的阻止能 |
| 4. | 非弾性衝突と電子的阻止能 |
| 5. | 気体中の非弾性衝突過程 |
| 6. | 気体中の電子とイオンの輸送 |
| 7. | 固体表面でのイオン反射と再放出 |
| 8. | 固体内の衝突ミキシングと拡散 |
| 9. | 物理スパッタリングと化学スパッタリング |
| 10. | プラズマCVD |
| 11. | プラズマ·エッチング |
| 12. | その他の材料デバイスプロセスへの応用 |
| 13. | 核融合装置におけるプラズマ·壁相互作用 |
| 14. | 周辺プラズマ物理 |
| 15. | 水素リサイクリングと材料損耗 |
| 16. | まとめと今後の課題 |
連絡先
大宅(E棟2階南 A-9, 088-656-7444, ohya@ee.tokushima-u.ac(no-spam).jp)