精密機械工学

目的

マイクロマシンや電子部品の製作に欠かせない薄膜に関して，その創成技術および特性評価技術について学習する．

概要

薄膜の基本概念，薄膜の作製方法，薄膜の結晶性と応力を学ぶ．薄膜創成では特に残留応力の発生が問題になり，その評価と制御を適正に行う必要がある．残留応力の測定法としてのX線応力測定法およびその薄膜応力への応用を理解する．また，薄膜の応力の性質について最近の研究を紹介する．工業にかかわる科目である．

キーワード

X線回折，X線応力測定，結晶構造，残留応力

先行科目

材料工学

関連科目

材料物性特論

要件

To master a basic concept of crysital

注意

To learn by yourself thin film preparation, crystallography, X-ray diffraction, X-ray stress measurement, micromachine and so on

評価

Report & presentation 40%, examination 60%

対象学生

開講コース学生のみ履修可能

教科書

None

URL

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