ナノプロセッシング工学特論
Advanced Micro-Nano Engineering
目的
マイクロ∼ナノプロセシング，特に光誘起プロセスに関する専門知識の習得
概要
マイクロ·ナノプロセシング関連テーマに取り組もうとする学生を対象とし，一般的な機械加工から，レーザ加工，MEMSまで，種々のマイクロ·ナノ領域の加工について，加工プロセス，精度制限因子，加工評価方法を幅広く学修する．
要件
学部教育における物理学を理解していること．
目標
| 1. | レーザを用いたマイクロ∼ナノプロセシングに関する研究を行う上で必要な専門知識を身につける． |
計画
| 1. | マイクロ_ ナノプロセシング技術の概要 |
| 2. | レーザ光の特徴と発生方法 |
| 3. | レーザの種類と特徴 |
| 4. | 光学部品 |
| 5. | レーザ照射に伴う現象 |
| 6. | レーザ加工と熱伝導 |
| 7. | レーザによる溶融接合 |
| 8. | レーザによる材料の除去・切断 |
| 9. | 超短パルスレーザ加工 |
| 10. | レーザマイクロ熱加工 |
| 11. | 産業界に見る精密微細加工技術 |
| 12. | サーマル方式インクジェット |
| 13. | ピエゾ方式インクジェット |
| 14. | インクジェット技術のバイオ分野への応用 |
| 15. | 最新インクジェット技術 |
| 16. | 試験 |
評価
授業最終日に課すレポートで評価する
教科書
平井紀光著，実用レーザ技術，共立出版ISBN4-320-08470-5・甘利武司 監修，インクジェットプリンター，シーエムシー出版ISBN4-88231-859-8・一部Web上に掲載
参考資料
中澤光男 監修，実用超精密加工と計測技術，エヌティーエスISBN4-86043-035-2・伊賀健一著，レーザ光学の基礎，オーム社ISBN4-274-02137-8・佐藤邦彦，向井喜彦，豊田政男共著，溶接工学，理工学社ISBN4-8445-2108-X