ナノプロセッシング工学
Micro-Nano Engineering
2単位
目的
マイクロ·ナノプロセッシングに関する基礎知識の習得
概要
マイクロ·ナノプロセシング関連テーマに取り組もうとする学生を対象とし，一般的な機械加工から，レーザ加工，MEMSまで，種々のマイクロ·ナノ領域の加工について，加工プロセス，精度制限因子，加工評価方法を幅広く学修する．
要件
学部教育における物理学を理解していること．
目標
| 1. | 各プロセスの加工原理と，精度制限因子，加工評価方法に関する幅広い知識を身につける． |
計画
| 1. | マイクロ_ ナノプロセシング技術の概要 |
| 2. | レーザ光の特徴と発生方法 |
| 3. | レーザの種類と特徴 |
| 4. | 光学部品 |
| 5. | レーザ照射に伴う現象 |
| 6. | レーザ加工と熱伝導 |
| 7. | レーザによる溶融接合 |
| 8. | レーザによる材料の除去・切断 |
| 9. | 超短パルスレーザ加工 |
| 10. | レーザマイクロ熱加工 |
| 11. | 産業界に見る精密微細加工技術 |
| 12. | サーマル方式インクジェット |
| 13. | ピエゾ方式インクジェット |
| 14. | インクジェット技術のバイオ分野への応用 |
| 15. | 最新インクジェット技術 |
| 16. | 試験 |
評価
授業最終日に課すレポートで評価する
教科書
平井紀光著，実用レーザ技術，共立出版ISBN4-320-08470-5・甘利武司 監修，インクジェットプリンター，シーエムシー出版ISBN4-88231-859-8・一部Web上に掲載
参考資料
中澤光男 監修，実用超精密加工と計測技術，エヌティーエスISBN4-86043-035-2・伊賀健一著，レーザ光学の基礎，オーム社ISBN4-274-02137-8・佐藤邦彦，向井喜彦，豊田政男共著，溶接工学，理工学社ISBN4-8445-2108-X